Полное описание
> MicroProcess : the 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92. - Tokyo : Japan soc. of appl. physics , 1992. - 4103-4585 p. p. - (Japanese journal of applied physics ; vol.31,N 12B,1992). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
Перевод заглавия: Микропроцесс.5-я(4-я) межд., Канагава,1992
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84(062) |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.31,N 12B,1992)>
Шифр в сводном ЭК: c1d009f3b8c9702746f6927a5d08a52d
Papers presented at the 6th microoptics conference and 14th topical meeting on gradient-index..,Tokyo, Oct.7-9,1997 / Microoptics conference (6th ; 1997 ; Tokyo) , Topical meeting on gradient-index optical systems (14th ; 1997 ; 895(#1) / 895(#2) / 895(#3))! , 1998. - 3633-3637 p. p. - Текст : непосредственный.Ferroelectric materials and their applications : сборник / Ed. Y. Ishibashi, 1997. - 5789-6166 p. p. - Текст : непосредственный.Ultrasonic electronics : 18th symp.on ultrasonic electronics, Chiba,Nov.12-14,1997 / USE97. Pt. 1 : Regular papers,short notes & review papers, 1998. - 2775-3173 p. p. - Текст : непосредственный.Japanese Journal of Applied Physics. - Журнал выходит с 1962г. r=on-line. - Текст : электронный.
Microprocesses and nanotechnology : The 10th Intern.microprocesses and nanotechnology conf.,July 7-10,1997,Nagoya / MNC'97, 1997. - 7473-7808 p. p. - Текст : непосредственный.Papers prsented at the joint international symposium on optical memory and optical data storage,Maui(Hi),on July 8-12,1996 / ISOM/ODS'96, 1997. - 403-594 p. p. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.Optical memories : Intern.symp.on optical memory,Sapporo,Oct.1-4,1991 / ISOM'91, 1992. - VII,308 p. p. - Текст : непосредственный.MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p. - Текст : непосредственный.Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3, 2000. - 4255-4691 p. p. - Текст : непосредственный.Microoptics : 7th microoptics conf., Chiba, Jul.14-16, 1999 / MOC'99;Ed.:K.Goto et al. Pt. 1, 2000. - 1463-1581 p. p. - Текст : непосредственный.Solid state devices and materials : Papers presented at the intern.conf.on solid state.., Tokyo,Sept.21-24, 1999 / SSDM'99, 2000. - 1963-2482 p. p. - Текст : непосредственный.Ultrasonic electronics : 20th memorial symp.on ultrasonic electronics, Ohfuh-kan, 17-19, Nov.1999 / USE 99, 2000. - 2883-3269 p. p. - Текст : непосредственный.Solid state devices and materials : Papers presented intern.conf.on solid state ..,Yakohama,Aug.26-29,1996 / SSDM'96, 1997. - 1319-1993 p. p. - Текст : непосредственный.Plasma processing : Papers presented at the 3rd intern.conf.on reactive plasmas held in Nara,on Jan.21-24,1997 / ICRP-3;Ed.:Y.Kawai et.al. Pt. 1 : Regular papers,short notes & review papers, 1997. - 4547-5024 p. p. - Текст : непосредственный.modifications structurales apportees par les nouveaux procedes d'usinage et de mise en forme : Colloque intern.,19-20 nov.,1992, 1992. - Pag.var. - Текст : непосредственный.
Показать все результаты| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыThe 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p. - Текст : непосредственный.Microprocess : The 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93, 1993. - 5823-6300 p. p. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽