ГПНТБ России - Полное описание

Полное описание

Амиров, И. И. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / И. И. Амиров. - М., 2010. - 45 с. : ил. - Библиогр.: с. 42-45 (48 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.76-047.84(043)
81.13.30	621.38-022.532(043)
	620.3(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМОТЕХНИКА -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-28763)

Шифр в сводном ЭК: 12257514d1f27f145d03313bff9d8352

Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный.Амиров И.И. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро-наномеханических устройств : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / И. И. Амиров, 2010. - 45 с. - Текст : непосредственный.Амиров И.И. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / И. И. Амиров, 2010. - 45 с. - Текст : непосредственный.Амиров И.И. Взаимодействие тугоплавких металлов с галогенсодержащей плазмой тлеющего ВЧ разряда : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / И. И. Амиров, 1992. - 18 с. - Текст : непосредственный.

Амиров И.И. Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / И. И. Амиров, 2010. - 45 с. - Текст : непосредственный.