• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. - М. : Изд-во МИСиС, 20 - . - В надзаг.:Моск. гос. ин-т стали и сплавов (технол. ун-т), Астрах. гос. ун-т. - Текст : непосредственный.
    Ч. 1. - 2006. - 364 с. : ил. - Библиогр. в конце отд. ст. - 400 экз. - ISBN 5-276-00880-9

    ГРНТИ УДК
    55.13621.7/.9(062)
    47.13621.3.049.76.002(063)

    Рубрики:
    Технология материалов -- Съезды и конференции
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Московский гос. ин-т стали и сплавов
    Экз-ры полностью 7ce6803af6c941b44f65c35c7bc9e3ff
    Нет сведений об экземплярах
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/63281/1)

    Шифр в сводном ЭК: 7ce6803af6c941b44f65c35c7bc9e3ff



    Заказ фрагмента документа ₽