Полное описание
> Ююкин, Н. В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин. - Воронеж, 2006. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 ( 12 назв. ). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.01.85 621.3.049.77-047.84:776(043)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар07-2142)>
Шифр в сводном ЭК: 44cbba78931022b7fb402b92cc5cdd56
Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2014. - 280 с. - Текст : непосредственный. Погодин А.А. Синтез электронных схем в устройствах электрорадиоавтоматики / А. А. Погодин, Ю. Л. Филимонов, А. Д. Шишкин, 1994. - 139 c. - Текст : непосредственный. Арсеньев Г.Н. Радиоавтоматика. Практикум : выставочные материалы / Г. Н. Арсеньев, С. Н. Замуруев, 2013. - 260 с. - Текст : непосредственный. Скворцов Б.В. Линейные системы радиоавтоматики : учебное пособие / Б. В. Скворцов, 2008. - 147 с. - Текст : непосредственный. Коновалов Г.Ф. Радиоавтоматика / Г. Ф. Коновалов, 2003. - 286 с. - Текст : непосредственный. Юрков Н.К. Методы и средства системного анализа управления интегрированными производственными комплексами : специальность 05.13.01 "Системный анализ,управление и обработка информации (по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. К. Юрков, 2003. - 38 с. - Текст : непосредственный. Малышев А.В. Автоматизация и управление процессом производства пленочных аттенюаторов и резисторов : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. В. Малышев, 2001. - 23 с. - Текст : непосредственный. Бокова О.И. Радиоавтоматика / О. И. Бокова, А. И. Климов, Н. С. Хохлов, 2001. - 132 с. - Текст : непосредственный. Брызгалова Г.Г. Непрерывные системы радиоавтоматики / Г. Г. Брызгалова, С. Н. Замуруев, 2003. - 99 с. - Текст : непосредственный. Кондрашенков И.С. Модели и средства синтеза несущих конструкций автоматизированных систем управления в радиоэлектронной промышленности : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / И. С. Кондрашенков, 2006. - 18 с. - Текст : непосредственный. Основы управления в радиоэлектронных системах : выставочные материалы / А. К. Гришко, Э. В. Лапшин, А. В. Полтавский [и др.] ; Ред. Э. В. Лапшин, 2016. - 200 с. - Текст : непосредственный. Самусевич Г.А. Коррекция систем радиоавтоматики : выставочные материалы / Г. А. Самусевич, 2016. - 139 с. - Текст : электронный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Коробко Ю.О. Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю.О. Коробко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Mulder E.H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : Diss. / E.H.Mulder, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный. Никулина Е.А. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.07 / Е. А. Никулина, 2016. - 18 с. - Текст : непосредственный. Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный. Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный. Суханов Я.Н. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов, 2005. - 19 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽