Полное описание

Журнал
Institute of Electrical and Electronics Engineers (New York,NY). IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing/ Institute of Electrical and Electronics Engineers (New York,NY), Institute of Electrical and Electronics Engineers (New York,NY). - New York, NY [etc.] : IEEE , 1988 - . - Выходит ежеквартально. - ISSN 0894-6507. - URL: http://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=66, http://ieeexplore.ieee.org/xpl/RecentIssue.jsp?punumber=66. - Загл. с титул. экрана. - Текст : электронный.

ГРНТИ
45.09.35
47.33.37

УДК
621.315.592-047.84

Аннотация: Научно-технический журнал по технике и технологии производства полупроводниковых изделий. Тематика авторских статей охватывает изготовление многофункциональных компонентов микроэлектроники (СБИС и др.), интегральных оптических компонентов, проблемы тонкопленочной технологии, контроль технологических процессов, диагностику неисправностей, комплексные вопросы организации производства и др. Приводятся результаты оригинальных исследований теоретического и прикладного характера, описания оборудования и процессов, таблицы, схемы, технические рисунки, алгоритмы, фотографии образцов и др. Помещает аннотированную рекламу издательства IEEE Press, в последнем номере годового комплекта - авторский и предметный указатели статей тома.

journal link

journal link

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): vr=I463568)
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W10554)

Записей номеров в Каталоге: 22

Год Том Номера 1 2 3 4 1994 7 №   №   1995 8 № № № № 1996 9 № №     1998 11 № № № № 1999 12 № №     2001 14 № № № № 2002 15 № № № №