• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Панков, В. В. Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / В. В. Панков. - Минск, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.19-20(14 назв).

    ГРНТИ УДК
    47.03.11681.7.026.6.001.57(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-3893)

    Шифр в сводном ЭК: 004889c149a3e119aa01137c27783b86



    Заказ фрагмента документа ₽