• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Филачев, А. М. Исследование и моделирование процессов формирования электронных пучков и их взаимодействия с поверхностью твердых тел как основа разработки прецизионного электронно-лучевого технологического оборудования : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 01.04.04 / А. М. Филачев. - М., 1997. - 55 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг. :НИИ электронной и ионной оптики. Библиогр.:с. 51-55

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-2707)

    Шифр в сводном ЭК: 943cc3097521d1de98fe758a6bf2c58c



    Заказ фрагмента документа ₽