• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Арешкин, А. А. Зондовые методы контроля электрофизических параметров при изготовлении интегральных микросхем : учеб. пособие / А.А.Арешкин. - М. : [б. и.], 2003. - 47 с. - 100 экз. - ISBN 5-7339-0374-0. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики.Библиогр.: с. 45-46

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.77.002:658.562

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Технический контроль

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-03/90047)

    Шифр в сводном ЭК: f72f73f5bb7fb702b4adabaab51847a0



    Заказ фрагмента документа ₽