• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Conference on insulating films on semiconductors (8 ; 1993 ; Delft). Proceedings of the 8th biennial conference on insulating films on semiconductors,held June 2-5,1993,Delft / INFOS'93 ; Conference on insulating films on semiconductors (8 ; 1993 ; Delft) . - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1993. - XVI,420 p. p. : ill. - (Microelectronic engineering ; vol.22,N 1-4,1993). - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей.Указ.:с.411-420

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.9(063)
    47.09.31

    Рубрики:
    Контакт полупроводник-диэлектрик -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): КОНТАКТ ПОЛУПРОВОДНИК-ДИЭЛЕКТРИК
    Доп. точки доступа:
    Balk, P.\ed.\
    Nijs, J.J.M.de\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/Vol.22,N 1-4,1993)

    Шифр в сводном ЭК: 26300aa40d828f336636bd04833fa600



    Заказ фрагмента документа ₽