Полное описание
Mulder, E. H.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.77-047.84:776(043)
Рубрики: Электронолитография -- Оптимизация
Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/23922)
Шифр в сводном ЭК: 65abd6b1cfefac19be10af8be063ce85
Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Коробко Ю.О. Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю.О. Коробко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Mulder E.H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : Diss. / E.H.Mulder, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный. Никулина Е.А. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.07 / Е. А. Никулина, 2016. - 18 с. - Текст : непосредственный. Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный. Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный. Суханов Я.Н. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов, 2005. - 19 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
