• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Залозный, А. Н. Разработка и исследование технологических параметров процесса эпитаксии твердых растворов AIIIN методом молекулярно-лучевой эпитаксии для интегральных газовых сенсоров : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 08.27.06 / А. Н. Залозный. - 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (19 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.35.29543.27.08-03(043)

    Кл.слова (ненормированные): ГАЗОВАЯ СЕНСОРИКА -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ ГАЗ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР11-30809)

    Шифр в сводном ЭК: 268347f4b874b2e5631135ccfe599c56



    Заказ фрагмента документа ₽