• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Свиташева, С. Н. Развитие метода эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.01 / С. Н. Свиташева. - Новосибирск, 2014. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 28-32 . - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.33537.226:539.216.2(043)
    29.19.31537.311.322:539.216.2(043)
    53.49.01669.017:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): МОРФОЛОГИЯ -- НАНОРАЗМЕРНЫЕ ПЛЕНКИ -- ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- ШЕРОХОВАТОСТЬ
    Аннотация: Показан метод эллипсометрии и повышении его го точности для наноразмерных пленок полупроводников и металлов, неоднородных по составу окислов металлов и диэлектриков, в разработке методов установления корреляционных зависимостей оптических свойств от состава и от морфологии (включая шероховатость разного масштаба) поверхности.
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-5607)

    Шифр в сводном ЭК: ef81c0e32562bec18467db4e0cb4611f



    Заказ фрагмента документа ₽