• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010 (МЭС-2010) : IV Всерос. науч.-техн. конф.: сб. тр. / Институт проблем проектирования в микроэлектронике (Москва). - М. : ИППМ РАН, 2010 (М.). - 694 с. : ил. - Библиогр. в конце докл. Имен. указ.: с. 666-669. - 200 экз. - ISBN 978-5-903559-26-8. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Ин-т проблем проектирования в микроэлектронике РАН.

    ГРНТИ УДК
    47.14.07621.3.049.76-047.56(062)
    621.384-022.532-047.56(062)

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Проектирование -- Съезды и конференции
    Наноэлектронные устройства -- Проектирование -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Институт проблем проектирования в микроэлектронике (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-10/49717)

    Шифр в сводном ЭК: 5c18ebba81f5393d75786683283b9c07



    Заказ фрагмента документа ₽