Полное описание
Давлятшина, А. А.
ГРНТИ УДК 47.33.31 621.3.049.77-047.84(043)
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар13-5184)
Шифр в сводном ЭК: 103d7f4add52672eeef85a4222e5282d
Захаров Н.П. Механические явления в интегральных структурах / Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян, 1992. - 144 с. - Текст : непосредственный. Шугуров А.Р. Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок в процессе их формирования при внешних воздействиях: фрактальный анализ : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Р. Шугуров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный. Кристовский Г.В. Электронно-физическое моделирование КМОП БИС / Г. В. Кристовский, Л. А. Маслова, Ю. В. Фастовец, 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный. Multiple-valued logic in VLSI design / Ed. J. T. Butler, 1991. - VII,120 p. p. - Текст : непосредственный. Малинаускас К.К. Разработка математического и программного обеспечения систем топологического проектирования СБИС с использованием диаграмм Вороного : специальность 05.13.11 "Математическое и программное обеспечение вычислительных машин,комплексов и компьютерных сетей" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. К. Малинаускас, 2007. - 23 с. - Текст : непосредственный. Баринов С.В. Разработка и исследование комплекса генетических алгоритмов разбиения схем с учетом временных задержек / С. В. Баринов, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный. Усикова М.А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем / М. А. Усикова, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Венцов Н.Н. Исследование и разработка генетических алгоритмов и автоматов адаптации для повышения эффективности доступа к данным САПР СБИС : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)", 05.13.17 "Теоретические основы информатики" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. Н. Венцов, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Никифоров А.Ю. Радиационные эффекты в КМОП ИС / А. Ю. Никифоров, В. А. Телец, А. И. Чумаков, 1994. - 164 c. - Текст : непосредственный. Чураев С.О. Встраиваемые системы контроля параметров интегральных схем пикосекундного разрешения / С. О. Чураев, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Special issue on high-speed circuits : материалы временных коллективов / Ed.: M. Mokhtari, M. G. Stubbs. - 1095-1210 p. p. - Текст : непосредственный. Papers presented at the 12th IEEE VLSI test symposium,1994 / VLSI test symposium (12 ; 1994 ; New York) , 1995. - 529-649 p. p. - Текст : непосредственный. Курейчик В.М. Контролепригодное проектирование и самотестирование СБИС: проблемы и перспективы / В. М. Курейчик, С. И. Родзин, 1994. - 174 c. - Текст : непосредственный. Микросхемы интегральные серии КР580.. К744 / "Электростандарт", российский НИИ (Санкт-Петербург), 1993. - 224 c. - Текст : непосредственный. Автоматизация проектирования комплементарных микросхем с учетом одиночных событий / И. П. Потапов, В. М. Антимиров, Ю. К. Фортинский, К. И. Таперо, 2007. - 121 с. - Текст : непосредственный. Овечкин Р.М. Новые технологичные СВЧ устройства для перестраиваемых мощных плотноупакованных СВЧ схем и настроечные корпуса для них : специальность 05.12.07 "Антенны, СВЧ устройства и их технологии" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Р. М. Овечкин, 2004. - 16 c. - Текст : непосредственный. Packaging handbook, 1991. - Pag.var. мкф. - Текст : непосредственный. Фадеев А.В. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии / А. В. Фадеев, 2014. - 22 с. - Текст : непосредственный. Сибагатуллин А.Г. Повышение помехоустойчивости аналого-цифровых систем на кристалле средствами адаптивной коррекции сложных функциональных блоков / А. Г. Сибагатуллин, 2010. - 27 с. - Текст : непосредственный. Красников Г.Я. Система кремний - диоксид кремния субмикронных СБИС / Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев, 2003. - 383 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Фадеев А.В. Исследование латеральной однородности плазмы в реакторах микроэлектроники методами двухракурсной эмиссионной томографии / А. В. Фадеев, 2014. - 22 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Волоховский А.Д. Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем / А. Д. Волоховский, 2018. - 27 с. - Текст : непосредственный. Алексахин А.В. Разработка автоматизированных систем алмазно-абразивной резки слитков полупроводниковых и диэлектрических материалов / А. В. Алексахин, 2018. - 23 с. - Текст : непосредственный. Чакветадзе Д.К. Припоечные композиты на основе стекол системы PbO-B2 O3 и R2 O-SnO-P2 O5 (R=Li, Na, K) : специальность 05.17.11 - Технология силикатных и тугоплавких неметаллических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Д. К. Чакветадзе, 2019. - 16 с. - Текст : непосредственный. Гулидов Д.Н. Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Д. Н. Гулидов, 1992. - 50 с. - Текст : непосредственный. Дормушев А.Е. Повышение эффективности операции разрезания заготовок из хрупких неметаллических материалов путем активации элементов технологической системы : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.03.01 / А. Е. Дормушев, 2004. - 18 с. - Текст : непосредственный. Давлятшина А.А. Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме HCI и его смесей с азотом и кислородом : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 02.00.04 / А. А. Давлятшина, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Сосунов А.Г. Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.07 / А. Г. Сосунов, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Суворинов А.В. Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.07 / А. В. Суворинов, 1998. - 34 с. - Текст : непосредственный. Салеев Д.В. Алгоритмическое обеспечение подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем типа ТТЛ : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Д. В. Салеев, 2016. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филипенко Н.А. Геттерирование электрически активных дефектов в полупроводниковых структурах : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Н. А. Филипенко, 2002. - 15 с. - Текст : непосредственный. Чумаров С.Г. Исследование и разработка методов обеспечения оптимальной технологической воспроизводимости аналоговых микросборок по критерию точности электрических выходных параметров : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.12.04 / С. Г. Чумаров, 2002. - 23 с. - Текст : непосредственный. Зайцев Н.А. Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO в производстве кремниевых микросхем : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 06.27.01 / Н. А. Зайцев, 1994. - 51 с. - Текст : непосредственный. Bergmann R.B. Siliziumschichten auf Siliziumdioxid mittels Flussigphasenepitaxie-Herstellung und Charakterisierung von Schichtsystemen : Diss. / R.B.Bergmann, 1991. - 132 S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
