Полное описание
Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition ..., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 2002. - 363 p : lll. - (nato science series. sub-ser.II, Mathematics, physics and chemistry ; vol.55). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002(063)
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа: Pauleau, Y.\ed.\
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/18103/55)
Шифр в сводном ЭК: 4b8533e9f3cecdac41002c994c41934d
Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : Proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition .., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau, 2002. - 363 p. - Текст : непосредственный. Materials and processes for surface and interface engineering : Proc.of the NATO advanced study inst.on materials and processes for surface.. Gers,July 18-29,1994 / Ed. Y. Pauleau, 1995. - XIII,646 p. p. - Текст : непосредственный. Protective coatings and thin films : synthesis,characterization and applicationsProc.of the NATO Advanced research workshop on protective coatings and thin films:synthesis,characterization and applications,Alvor,Portugal,May 30-June 5,1996 / Ed.: Y. Pauleau, P. B. Barna, 1997. - XV,664 p. p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Hydrogen and helium recycling at plasma facing materials : Proc.of the NATO advanced research workshop on hydrogen isotope recycling at plasma facing materials in fusion reactors, Argonne(Il), 22-24 Aug. 2001 / Ed. Ah. Hassanein, 2002. - 235 p. - Текст : непосредственный. Ring opening matathesis polymerisation and related chemistry : Proc.of the NATO advanced study inst., Sept.3-15, 2000, Polaica-Zdroy / ed. E. Khosravi, ed. T. Szymanska-Buzar, 2002. - 493 p. - Текст : непосредственный. Advances in the interplay between quantum and gravity physics : Proc .of the Nato ASI, 2001, 30.Apr.-10.May, Erice / ed.: P. G. Bergmann, V. de Sabbata, 2002. - 554 p. - Текст : непосредственный. Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : Proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition .., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau, 2002. - 363 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Integrated processing for micro and optoelectronics : Proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim, 1994. - VII,91-374 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga), 1996. - 3413-4545 p. p. - Текст : непосредственный. Тезисы докладов конференции "Нанотехнологии - производству - 2006" : 29 ноября - 30 ноября 2006 г. / "Нанотехнологии - производству - 2006", конф. (Фрязино) , 2006. - 195 с. - Текст : непосредственный. Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : Proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition .., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau, 2002. - 363 p. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 2, 2006. - 382 с. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 1, 2006. - 364 с. - Текст : непосредственный. Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3, 2000. - 4255-4691 p. p. - Текст : непосредственный. Материалы IV российско-японского семинара "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники" : МИСиС-ULVAC Inc.-АГУ, 22-23 мая 2006 г. / "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники", российско-японский семинар (4; 2006; Астрахань), 2006. - 721 с. - Текст : непосредственный. Актуальные проблемы нанотехнологии и наноматериалов : тез. докл. ученых РАН на Рос.- кит. семинаре по пробл. нанотехнологии и наноматериалов, Пекин, Китай, окт. 2006 / Российско-Китайский семинар по проблемам нанотехнологии и наноматериалов (2006 ; Пекин), 2006. - 144 с. - Текст : непосредственный. Nanotechnologies in the area of physics, chemistry and biotechnology : Fifth ISTC Scientific advisory committee Seminar. St Petersburg, Russia, May 27-29, 2002Abstracts, 2002. - 133 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
