• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Интеграционные проекты СО РАН / Российская академия наук. Сибирское отделение. - Новосибирск : Изд-во Сиб. отд-ния Рос. АН., 20 - . - В надзаг. также: Рос. АН. Сиб. отд-ние, Ин-т катализа им. Г.К. Борескова, Ин-т химии тв. тела и механохимии, Ин-т теорет. и прикл. механики. - Текст : непосредственный.
    Вып. 31 : Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах / В. А. Гриценко [и др.]; отв. ред. А.Л. Асеев, В. А. Гриценко. - 2011 (Новосибирск). - 158 с. : ил. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - 400 экз. - ISBN 978-5-7692-1183-6. - ISBN 978-5-7692-0669-6

    Содержание:

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382-03
    ББК
    22.37+32.844.1

    Рубрики:
    Диэлектрики
    Полупроводниковые приборы -- Материалы

    Аннотация: Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)x(Al2O3)1 - x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si3N4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.
    Доп. точки доступа:
    Гриценко, В.А.
    Елисеев, А.П.
    Иванов, М.В.
    Игуменов, И.К.
    Канчев, В.В.
    Российская академия наук. Сибирское отделение
    Экз-ры полностью b51c4b6a5af39f76999336df686c7ad8
    Все экземпляры списаны
    Нет сведений об экземплярах

    http://znanium.com/catalog/document/?pid=924886&id=15860


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/18015/31)

    Шифр в сводном ЭК: b51c4b6a5af39f76999336df686c7ad8



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания