• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Асташенкова, О. Н. Физико-технологические основы управления механическими напряжениями в тонкопленочных композициях микромеханики : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / О. Н. Асташенкова. - 2015. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18 (16 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    55.09.43620.22-419.8:53(043)

    Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛЕНКИ КАРБИДА КРЕМНИЯ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-10639)

    Шифр в сводном ЭК: 839d3052460bd99539e2399981331b66



    Заказ фрагмента документа ₽