Полное описание
International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th ; 1996 ; Atlanta,Ga). Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga) ; Ed. S. W. Pang. - New York, NY : Amer.vacuum soc., 1996. - 3413-4545 p. p. : ill. - (Journal vaacum science & technology.Ser.B ; 1996,Vol.14,N 6). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 55.20.15 621.9.048.7(062) 47.13.33 621.3.049.76.002(063)
Рубрики: Электронно-ионная обработка -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ЭЛЕКТРОННО-ИОННАЯ ОБРАБОТКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУЧКИ
Доп. точки доступа: Pang, S.W.\ed.\
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/1996,Vol.14,N 6)
Шифр в сводном ЭК: 85b628363aa006683ddc1006f2de2b2e
Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Plasma Sources Science and Technology. - Журнал выходит с 1992г. r=on-line. - Текст : электронный. Белый А.В. Поверхностная упрочняющая обработка с применением концентрированных потоков энергии / А. В. Белый, Е. М. Макушок, И. Л. Поболь, 1990. - 79 c. - Текст : непосредственный. Андрианова Н.Н. Исследование эмиссионных процессов и структуры поверхностного слоя материалов при высоких флюенсах облучения пучками атомарных и молекулярных ионов / Н. Н. Андрианова, 2008. - 22 с. - Текст : непосредственный. Бровер А.В. Структурообразование в сталях и сплавах в процессе скоростной лазерной термической обработки / А. В. Бровер, 2010. - 154 с. - Текст : непосредственный. Никитин А.В. Определение кинетических коэффициентов при ионной имплантации в металлические системы : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / А. В. Никитин, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Laser ablation and its applications / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-line Nimmrichter J. Lasers in the conservation of artworks / J. Nimmrichter, W. Kautek, M. Schreiner, 2007 r=on-line. - Текст : электронный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Структурно-морфологические основы модификации материалов методами нетрадиционных технологий : материалы временных коллективов / Институт атомной энергетики (Обнинск), 1995. - 146 c. - Текст : непосредственный. Лазерная сварка и резка. Зарубежный опыт : разговорник / ВНИИ информации и технико-экономических исслед. в электротехнике, 1990. - 19 с. - Текст : непосредственный. Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 1(1657) : Технологическое оборудование для плазменного напыления : По даннным отеч. и зарубеж. печати за 1967-1991 гг. / В.Н.Лясников,В.М.Райгородский, 1992. - 55 с. - Текст : непосредственный. 3D-проектирование и изготовление изделий с использованием обрабатывающего оборудования с лазерным исполнительным устройством : выставочные материалы / Центр занятости населения Санкт-Петербурга, 2015. - 100 с. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Application of particle and laser beams in materials technology : материалы временных коллективов / Ed. P. Misaelides, 1995. - XI,678 p. p. - Текст : непосредственный. Будилов В.В. Технология вакуумной ионно-плазменной обработки : учебное пособие / В. В. Будилов, Р. М. Киреев, С. Р. Шехтман, 2007. - 155 с. - Текст : непосредственный. Key engineering materials. Vol. 373-374 : Surface engineering : select., peer rev. papers from the 5th intern. conf. on surface engineering (ICSE 2007), Jul. 7-10, 2007, Dalian / International conference on surface engineering (ICSE 2007) (5th; 2007; Dalian), 2008. - XVIII, 849 p. - Текст : непосредственный. Терегулов Н.Г. Лазерные технологии на машиностроительном заводе / Н. Г. Терегулов, Н. Г. Терегулов, Б. К. Соколов, Г. Варбанов, 1993. - 263 c. - Текст : непосредственный. Дьяченко Л.Д. Особенности структурной организации металлов и сплавов при экстремальном тепловом воздействии : специальность 05.02.01 "" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Л. Д. Дьяченко, 2008. - 32 с. - Текст : непосредственный. Робототехническая система для лазерной обработки. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Lasers Based Manufacturing / Ed.: S. N. Joshi, U. S. Dixit, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Integrated processing for micro and optoelectronics : Proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim, 1994. - VII,91-374 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Труды межвузовской научной школы молодых специалистов "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине : 13-14 нояб. 2001 г. / "Концентрированные потоки энергии в космической технике, электронике, экологии и медицине", межвузовская науч. школа молодых специалистов (2001; Москва), 2001. - 196 с. - Текст : непосредственный. Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga), 1996. - 3413-4545 p. p. - Текст : непосредственный. Тезисы докладов конференции "Нанотехнологии - производству - 2006" : 29 ноября - 30 ноября 2006 г. / "Нанотехнологии - производству - 2006", конф. (Фрязино) , 2006. - 195 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
