• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Латышева, Е. В. Резонансные СВЧ-методы многопараметровых измерений эпитаксиальных полупроводниковых структур с нанометровыми металлическими слоями : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.03, 05.27.01 / Е. В. Латышева. - 2016. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.396.6-044.3(043)

    Кл.слова (ненормированные): КОНТРОЛЬ -- МЕТАЛЛОДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар16-8828)

    Шифр в сводном ЭК: ad8881e9b7f4e3ece82d156bb9b227aa



    Заказ фрагмента документа ₽