Полное описание
Dry process : papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94. - Tokyo : [s. n.], 1995. - 2073-2195 p. p. : ill. - (Japanese journal of applied physics.Pt.1 ; vol.34,N 4B,1995). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76.002(063) 47.01.13
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа: Horiike, Y.\ed.\
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W2806/Vol.34,N 4B,1995)
Шифр в сводном ЭК: a5a053da3e97d3ca50a27248b0c567a4
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Microprocess : The 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93, 1993. - 5823-6300 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : The 15th Dry process symp.,Tokyo,Nov.1-2,1993 / DPS 93, 1994. - 2133-2438 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 17th dry process symposium,held 1-3 Nov.1995,Tokyo / DPS'95, 1996. - 2403-2535 p. p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Ultrasonic electronics : 15th symp.on ultrasonic electronics,held in Kyoto,Nov.28-30,1994 / USE 94, 1995. - 2515-2950 p. p. - Текст : непосредственный. Scanning tunneling microscopy : 2nd intern.colloquium on scanning tunneling microscopy,held in Kanazawa,Dec.8-10,1994 / Ed. A. Kawazu, 1995. - 3309-3411 p. p. - Текст : непосредственный. Mesoscopic physics and electronics : Papers presented at the intern.workshop on mesoscopic physics and electronics,held from March 4-6,1995 in Tokyo / MPE'95, 1995. - 4279-4578 p. p. - Текст : непосредственный. Ferroelectric materials and their applications : Papers presented at the ferroelectric materials and their applications,held in Kyoto,May 24-27,1995 / FMA-12, 1995. - 5077-5482 p. p. - Текст : непосредственный. Ultrasonic electronics : Papers presented at the 16th symp.on ultrasonic electronics,Tsukuba,Nov.27-29,1995 / USE95, 1996. - 2879-3299 p. p. - Текст : непосредственный. Solid state devices and materials : Papers presented at the 1995 Intern.conf.on solid state devices and materials,Osaka,Aug.21-24 / SSDM'95, 1996. - 793-1597 p. p. - Текст : непосредственный. Scanning tunneling microscopy : Papers were presented at the inten. colloquium on scanning tunneling microscopy,Kanazawa,Dec.7-9,1995 / Ed. S. Hosoki, 1996. - 3695-3797 p. p. - Текст : непосредственный. Solid state devices and materials : Papers presented at the intern.conf.on solid state devices and materials,held in Yokohama,Aug.23-26 1994 / SSDM'94, 1995. - 691-1412 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : The 15th Dry process symp.,Tokyo,Nov.1-2,1993 / DPS 93, 1994. - 2133-2438 p. p. - Текст : непосредственный. Scanning tunneling microscopy : Intern.colloquium on scanning tunneling microscopy,held in Hirosima,9-11 Dec.1993 / Ed. A. Kawazu, 1994. - V,3657-3790,11 p. p. - Текст : непосредственный. Plasma processing : Papers presented at the 2nd intern.conf.on reactive plasma and 11th symp.on plasma processing(SPP-11),held in Yokohama,Jan.19-21 1994 / ICRP-2, 1994. - 4157-4490,12 p. p. - Текст : непосредственный. Ferroelectric materials and their applications : Papers prented at the 11th meet.on ferroelectric materials and their applications,held in Kyoto,May 25-May 28,1994 / FMA-11, 1994. - 5119-5576 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 17th dry process symposium,held 1-3 Nov.1995,Tokyo / DPS'95, 1996. - 2403-2535 p. p. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Радиотехника, электроника и связь : материалы временных коллективов / "Высокие технологии - основа инновационного развития экономики регионов России", форум (2011 ; Омск), 2011. - 547 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Научная сессия ТУСУР - 2007 : материалы докл. Всерос. науч.-техн. конф. студентов, аспирантов и мол. ученых, 3 - 7 мая 2007 г. : в 5-ти ч. Ч. 4, 2007. - 377 с. - Текст : непосредственный. Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. XLIX Научная сессия, посвященная дню радио : Тез докл. Ч. 1, 1994. - 162 с. - Текст : непосредственный. XLIX Научная сессия, посвященная дню радио : Тез докл. Ч. 2, 1994. - 160 с. - Текст : непосредственный. Международная конференция "100-летие начала .. .50-я Научная сессия, посвященная дню радио : Тез.докл. Ч. 1, 1995. - 232 с. - Текст : непосредственный. Международная конференция "100-летие начала .. .50-я Научная сессия, посвященная дню радио : Тез.докл. Ч. 2, 1995. - 328 с. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Integrated processing for micro and optoelectronics : Proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim, 1994. - VII,91-374 p. p. - Текст : непосредственный. Dry process : Papers presented at the 16th Dry process symposium,held in Tokyo,10-11 Nov.1994 / DPS'94, 1995. - 2073-2195 p. p. - Текст : непосредственный. Papers from the international conference on electron,ion, and photon beam technology and nanofabrication,Atlanta(Ga),28-31 May 1996 / International conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (40th; 1996; Atlanta,Ga), 1996. - 3413-4545 p. p. - Текст : непосредственный. Тезисы докладов конференции "Нанотехнологии - производству - 2006" : 29 ноября - 30 ноября 2006 г. / "Нанотехнологии - производству - 2006", конф. (Фрязино) , 2006. - 195 с. - Текст : непосредственный. Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies : Proc .of the Nato ASI on сhemical physics of thin film deposition .., 2001, Sept.3-14, Kaunas / Ed. Y. Pauleau, 2002. - 363 p. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 2, 2006. - 382 с. - Текст : непосредственный. Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- наноэлектроники : тр. IV Рос.-япон. семинара, МИСиС - ULVAC inc. - АГУ, 22-23 мая 2006 г. / Московский гос. ин-т стали и сплавов. Ч. 1, 2006. - 364 с. - Текст : непосредственный. Papers presented at the 3rd international symposium on surface science for micro- and nano-device fabrication, Tokyo, Nov.29- Dec.1, 1999 / ISSS-3, 2000. - 4255-4691 p. p. - Текст : непосредственный. Материалы IV российско-японского семинара "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники" : МИСиС-ULVAC Inc.-АГУ, 22-23 мая 2006 г. / "Перспективные технологии и оборудование для материаловедения, микро- и наноэлектроники", российско-японский семинар (4; 2006; Астрахань), 2006. - 721 с. - Текст : непосредственный. Актуальные проблемы нанотехнологии и наноматериалов : тез. докл. ученых РАН на Рос.- кит. семинаре по пробл. нанотехнологии и наноматериалов, Пекин, Китай, окт. 2006 / Российско-Китайский семинар по проблемам нанотехнологии и наноматериалов (2006 ; Пекин), 2006. - 144 с. - Текст : непосредственный. Nanotechnologies in the area of physics, chemistry and biotechnology : Fifth ISTC Scientific advisory committee Seminar. St Petersburg, Russia, May 27-29, 2002Abstracts, 2002. - 133 p. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
