• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Методические указания по выполнению расчетов технологических процессов в производстве материалов электроники и наноэлектроники / Рос. хим.-технол. ун-т им. Д. И. Менделеева ; сост. О. Б. Петрова [и др.]. - М. : РХТУ им. Д. И. Менделеева, 2015. - 59 с. : ил. - Библиогр.: с. 52-54 (34 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.38-03
    621.384-022.532-03

    Рубрики:
    Электронные материалы -- Производство
    Наноэлектронные устройства -- Материалы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Петрова, О.Б.\сост.\
    Российский хим.-технологический ун-т им. Д. И. Менделеева (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-15/23011)

    Шифр в сводном ЭК: 23a13056b32b6d621feae3c0d1b1d817



    Заказ фрагмента документа ₽