• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Вольпяс, В. А. Физика слабоионизованной плазмы : прикладные вопросы ионно-плазменного распыления / В.А.Вольпяс,А.Б.Козырев. - СПб. : ТОО "Складень", 1997. - 130 с. : ил. - 100 экз. - ISBN 5-89028-005-8. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.130(17 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.27533.9
    55.20.15621.793.184
    621.793.74

    Рубрики:
    Плазма
    Ионное внедрение
    Металлизация плазменная

    Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ВНЕДРЕНИЕ -- ПЛАЗМА -- ПЛАЗМЕННАЯ МЕТАЛЛИЗАЦИЯ
    Доп. точки доступа:
    Козырев, А.Б.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-97/36335)

    Шифр в сводном ЭК: f532fc42f09fe29650b097fdff7eb3c1



    Заказ фрагмента документа ₽