• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Advanced metallization conference (27 ; 2010 ; Albany, NY). 27th annual advanced metallization conference, Albany, NY, Oct. 5-7, 2010 / Advanced metallization conference (27; 2010; Albany, NY) ; ed.: Y. Shacham-Diamand, R. V. Joshi. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 2012. - VII, 151 p. : ill. - (Microelectronic engineering ; 2012, Vol. 92). - Библиогр. в конце ст. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84:621.793(062)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Металлизация -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Shacham-Diamand, Y.\ed.\
    Joshi, R. V.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8956/2012, Vol. 92)

    Шифр в сводном ЭК: c42765d05853a1c2c525fc7f32ffb928



    Заказ фрагмента документа ₽