• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Чернов, А. С. Исследование и разработка оптоволоконного микрооптоэлектромеханического кремниевого фотовольтаического датчика давления : специальность 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах (технические науки): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / А. С. Чернов. - 2019. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22 (14 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    59.37.33681.586'33(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- МИКРООПТОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар19-3272)

    Шифр в сводном ЭК: 832b22821e2bbe2fe65806f94c24eeeb



    Заказ фрагмента документа ₽