• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Шалимов, А. С. Проектирование МЭМС-устройств : учебное пособие / А. С. Шалимов, Е. С. Кочурина; под редакцией С. П. Тимошенкова ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2018. - 108 с. : ил. - Библиогр.: с. 106 (8 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-7256-897-7. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    45.53621.31-181.4-047.56

    Рубрики:
    Микроэлектромеханические системы -- Проектирование

    Доп. точки доступа:
    Кочурина, Е.С.
    Тимошенков, С.П.\ред.\
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/65192)

    Шифр в сводном ЭК: 3efa9d61c314d6c840157ba6920aa0bb



    Заказ фрагмента документа ₽