• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Кузьменко, А. П. Самоорганизация при формировании металлических магнетронных нанопленок : монография / А. П. Кузьменко, Нау Динт, Мьо Мин Тан ; Миобрнауки России, Юго-Западный государственный университет (ЮЗГУ). - Курск : Унив. кн., 2018. - 218 с. : ил. - Библиогр.: с. 194-218 (192 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-907138-50-6. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    53.49.01669.017:539.216.2-022.532

    Рубрики:
    Металлические пленки

    Аннотация: Монография соответствует Государственным образовательным стандартам по направлениям ; 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. В монографии проведен анализ результатов по получению и исследованию одно , - двух и трехслойных металлических магнетронных нанопленок из меди, алюминия, никеля и хрома, широко используемых в микроэлектронике, методами сканирующей электронной и зондовой микроскопии, колебательной спектроскопии, IP анализа и комбинационного рассеяния света, рентгенофазавого анализа и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, спектральной эллипсометрии, установлена взаимосвязь параметров и режимов их формирования с морфологическими особенностями, фазовыми структурными превращениями как в процессе их нанесения , так и при деградации, возникающей при их нагреве на воздухе до температур близких к температуре Дебая, описана роль как баллистической, так и кинетической агрегации кластеров, предложена модель нанокластерной трехмерной коалесцении.
    Доп. точки доступа:
    Нау Динт
    Мьо Мин Тан
    Юго-Западный государственный университет (Курск)

    Оглавление


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/63229)

    Шифр в сводном ЭК: 88690dcbb32668fecbf25e80a3430343



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания