• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Волоховский, А. Д. Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем / А. Д. Волоховский. - 2018. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 25-27. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- НАНОРАЗМЕРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ОПЕРАТИВНЫЙ КОНТРОЛЬ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар18-1873)

    Шифр в сводном ЭК: 52d12c04d883b827d32c98b7f55e8533



    Заказ фрагмента документа ₽