• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис. - М. : Наука, 1997. - 168 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.12). - 200 экз. - ISBN 5-02-015107-6. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Курчидис, В.А.\ред.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/12)

    Шифр в сводном ЭК: fb3839d87f1b5dbe64e694e4e8abcb01



    Заказ фрагмента документа ₽