• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин. - М. : Наука, 1995. - 79 c. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.9). - Библиогр. в конце ст. - Тираж не указ. - ISBN 5-02-000831-1. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце ст

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76.002

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Репин, В.Н.\ред.\
    Валиев, К.А.\ред.\
    Физ.-технол.ин-т

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/9)

    Шифр в сводном ЭК: 532bcba45ce9708a73870e3903b4caf1



    Заказ фрагмента документа ₽