Полное описание
> Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин. - М. : Наука, 1995. - 79 c. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.9). - Библиогр. в конце ст. - Тираж не указ. - ISBN 5-02-000831-1. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.33.37 | 621.3.049.76.002 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Доп. точки доступа:
Репин, В.Н.\ред.\
Валиев, К.А.\ред.\
Физ.-технол.ин-т
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/9)>
Шифр в сводном ЭК: 532bcba45ce9708a73870e3903b4caf1
Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Валиев К.А. Физика полупроводниковых приборов микро- и наноэлектроники / К. А. Валиев, А. А. Кокин, 1995. - 111 c. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Ред. Л. В. Великов, 1994. - 78 c. - Текст : непосредственный.
Перспективные телекоммуникационные технологии. Потенциальные возможности / С.А.Анфилофьев,К.А.Валиев,Л.Е.Варакин и др.;Под ред.Л.Д.Реймана,Л.Е.Варакина, 2001. - 255 с. - Текст : непосредственный.Валиев К.А. Исследование жидкого вещества спектроскопическими методами / К. А. Валиев, 2005. - 283 с. - Текст : непосредственный.Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный.Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный.Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 40 с. - Текст : непосредственный.Академик К. А. Валиев и его научная школа : избр. тр. / Рос. АН. Физ.-технол. ин-т, 2011. - 483 с. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
Диагностика микроэлектронных структур / Ред. А. М. Афанасьев, 1993. - 112 с. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : Сб.ст. / Отв.ред.Орликовский, 1994. - 128 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии / Ред. А. А. Орликовский, 1996. - 109 с. - Текст : непосредственный.Ионно-лучевая обработка материалов в микро- и наноэлектронике / Ред. Ю. П. Маишев, 1999. - 185 с. - Текст : непосредственный.Микроструктурирование тонких пленок : Сб.ст. / Отв.ред.А.А.Орликовский, 1991. - 112 с. - Текст : непосредственный.Моделирование технологических процессов микроэлектроники : Сб.ст. / Отв.ред.Т.М.Махвиладзе, 1992. - 120 с. - Текст : непосредственный.Problems of Submicron Technology / Ed.by А.А.Orlikovsky, 2000. - 111 p. - Текст : непосредственный.Диагностика полупроводниковых и магнитных структур с нанометровыми размерами / Отв. ред. А.М.Афанасьев, 1999. - 127 с. - Текст : непосредственный.
Диагностика микроэлектронных структур / Ред. А. М. Афанасьев, 1993. - 112 с. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Ред. Л. В. Великов, 1994. - 78 c. - Текст : непосредственный.
Полупроводниковая микроэлектроника : сборник научных трудов / Новосибирский электротехнический ин-т, 1989. - 113,5 c. c. - Текст : непосредственный.Зотов А.А. Физические основы устройств функциональной электроники / А. А. Зотов, Т. И. Чернышова, В. Н. Чернышов, 1993. - 208 c. - Текст : непосредственный.Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный.Щука А. А. Наноэлектроника / А. А. Щука, 2007. - 463 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 1, 2007. - 450 с. - Текст : непосредственный.Основы электротехники, микроэлектроники и управления. Теория и расчет : учеб. пособие: в 2 т. / Ю. А. Комиссаров [и др.] ; ред. П. Д. Саркисов. Т. 2, 2007. - 310 с. - Текст : непосредственный.The second international workshop on surfaces..,Hawaii,7-12 Dec.1997 / Workshop on surfaces and interfaces of mesoscopic devices (2nd ; 1997 ; Hawaii) , 1998. - 183 p. - Текст : непосредственный.Очерки истории российской электроники. Вып. 5 : 50 лет отечественной микроэлектронике. Краткие основы и история развития / Б. М. Малашевич, 2013. - 799 с. - Текст : непосредственный.Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный.Ефимов И.Е. Основы микроэлектроники : учебное пособие / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, 2008. - 384 с. - Текст : непосредственный.Комаров А.С. Управление техническим уровнем высокоинтегрированных электронных систем (научно-технологические проблемы и аспекты развития) / А. С. Комаров, Д. В. Крапухин, Е. И. Шульгин ; Ред. П. П. Мальцев, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный.Бобров И.И. Физические основы микроэлектроники : Курс лекций. Ч. 1, 1995. - 81 с. - Текст : непосредственный.Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный.Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics . - Журнал выходит с 2006г.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Физико-химические основы микроэлектроники. Процессы получения пленок / В. Г. Нефедов, О. Б. Гусев, Ю. С. Кулешов, О. В. Шакин, 1991. - 66 с. - Текст : непосредственный.Микроэлектроника и информатика-2001 : сборник, 2001. - 336 с. - Текст : непосредственный.physics and fabrication of microstructures and microdevices : материалы временных коллективов / Ed.: M. J. Kelly, C. Weisbuch, 1986. - XI,469 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПолтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный.Бакланов М.Р. Гетерогенные реакции в процессах травления материалов микроэлектроники Si,Ge и SiO : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени / М. Р. Бакланов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Умаров С.И. Взаимодействие алюминия со стронцием, индием и кремнием и разработка высокочистых алюминиевых сплавов : специальность 02.00.01 "Неорганическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук / С. И. Умаров, 1990. - 20 с. - Текст : непосредственный.Давыдов В.Н. Исследование и разработка двухкоординатных систем прецизионного перемещения в вакуумных корпускулярно-лучевых установках : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. Н. Давыдов, 1993. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽