• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Диагностика микроэлектронных структур / Ред. А. М. Афанасьев. - М. : Наука, 1993. - 112 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физ.-технол.ин-т ; т.5). - 370 экз. - ISBN 5-02-006981-7. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце ст.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.76.001.4

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Техническая диагностика

    Доп. точки доступа:
    Афанасьев, А.М.\ред.\
    Физ.-технол.ин-т

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/14892/5)

    Шифр в сводном ЭК: 10e2f7239c9afcae6d76ea9cf2ed559a



    Заказ фрагмента документа ₽