• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Курчиков, К. А. Модификация пористых материалов с низкой диэлектрической проницаемостью под действием ультрафиолетового излучения. Контроль уровня ультрафиолетового излучения плазмы / К. А. Курчиков. - 2015. - 23 с. - Библиогр.: с. 22-23 (18 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.3.049.76(043)

    Кл.слова (ненормированные): LOW-K МАТЕРИАЛЫ -- ДЕГРАДАЦИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОРИСТОСТЬ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-15092)

    Шифр в сводном ЭК: 5eae976a318be07e494d7e5422e39f74



    Заказ фрагмента документа ₽