Приложение
для AndroidПолное описание
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - III,103 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA, ISSN 0947-8620 ; 5671). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.100-103
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76.002 | |
| 621-181.4 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство
Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Both, A.
Bacher, W.
Heckele, M.
Ruprecht, R.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5671)
Шифр в сводном ЭК: 5b01246114d7772c51c1623d1d162fc9
Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.
Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen / K.Layendecker,W.Bacher,K.Bade,W.Stark, 1995. - 87 S. - Текст : непосредственный.Thommes A. Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen / A.Thommes,W.Stark,W.Bacher, 1995. - 76 S. - Текст : непосредственный.Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern / A.Michel,R.Ruprecht,M.Harmening,W.Bacher, 1993. - 84 S. - Текст : непосредственный.Karthaus J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher, 2000. - VIII,121 S. S. - Текст : непосредственный.Heckele M. Strukturuntersuchungen an amorphen (Fe,Co)-(Tb,Dy)-Legierungen mittels Rontgen-und Neutronenbeugung : Diss. / M.Heckele, 1991. - 107 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6922 : Analyse des Mikro-Heissprageverfahrens / M.Worgull,M.Heckele,W.K.Schomburg, 2003. - IV, 119 S. 119 S. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7058 : Werkzeugentwicklung fur das Heisspr@agen beidseitig mikrostrukturierter Formteile : Diss. / H.Dittrich, M.Heckele, W. K.Schomburg, 2004. - III, 70 S. - Текст : непосредственный.Entwicklung von Mikromembranpumpen von der seriengerechten Konzeption bis zur Anwendung : Diss. / B.B@:ustgens,W.Bacher,W.Menz,W.K.Schomburg, 1996. - VI,92 S. S. - Текст : непосредственный.Ruther P. Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben : Diss. / P.Ruther,W.Bacher,K.Feit, 1997. - 91 S. - Текст : непосредственный.Ruprecht R. Untersuchungen an mikrostrukturierten Bandpassfiltern fur das Ferne Infrarot und ihre Herstellung durch Rontgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung : Diss. / R.Ruprecht,W.Bacher, 1991. - 83 S. - Текст : непосредственный.Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-Verfahren / H.Kalb,W.Bacher,M.Harmening,R.Ruprecht, 1995. - 93 S. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Kraus S. Xerogelstrukturen als Sensormatrices : монография / S. Kraus, J. Goschnick ; Ed: C. A. Melendres, A. Tadjeddine, 1996. - 99 S. - Текст : непосредственный.Muller S. Messungen an PZT-Keramiken / S. Muller, 1999. - 33 S. - Текст : непосредственный.Beuchle G. Hydrolyse von Sodalith zur in situ Konditionierung saurer Porenwasser mit technischen Basen durch Neutralisation und Sekundarphasenbildung : сборник научных трудов / G. Beuchle, 1999. - 151 S. - Текст : непосредственный.Stieglitz R. Kann man das Erdmagnetfeld im Labor simulieren? / R. Stieglitz, U. Muller, 1999. - 29 S. - Текст : непосредственный.Bernatzki A. Geometrische Interpretation neuronaler Netze / A. Bernatzki, 1999. - 123 S. - Текст : непосредственный.Seiter Ch. Numerische Simulation turbulenter Auftriebsstromungen in horizontalen Kanalen : сборник научных трудов / Ch. Seiter, 1995. - XI,172 S. S. - Текст : непосредственный.Compatibility of 31 metals,alloys and coatings with static Pb-17Li eutectic mixture / H. Feuerstein, H. Grabner, J. Oschinski, J. Beyer, 1995. - 161 p. - Текст : непосредственный.Schirra M. Das Umwandlungsverhalten der hochwarmfesten martensitischen Stahle mit 8-14 Cr / M. Schirra, H. Finkler, 1995. - 38 S. - Текст : непосредственный.OPTIFER,ein weiterer Schritt zur Entwicklung niedrigaktivierender martensitischer Stahle : сборник научных трудов / M. Schirra, K. Ehrlich, S. Heger, M. T. Hernandez, 1995. - 41 S. - Текст : непосредственный.Lindemann K. Objektorientierte Modellierung am Beispiel eines Mikrosystems zur Messung von Beschleunigungen / K. Lindemann, H. Eggert, W. Suss, 1995. - II,102 S. S. - Текст : непосредственный.Scaffidi-Argentina F. Modellierung des Schwellens und der Tritium-Freisetzung von bestrahltem Beryllium : сборник научных трудов / F. Scaffidi-Argentina, 1995. - XIII,139 S. S. - Текст : непосредственный.Wien A. Ein Beitrag zur Analyse von quasi-optischen Wellentypwandlern in Hochleistungsgyrotrons : сборник научных трудов / A. Wien, 1995. - 129 S. - Текст : непосредственный.Hermanutz D. Neutroneninduzierte Verlagerungsschadigung von Beryllium im Blanket eines (d,t)-Fusionsreaktors / D. Hermanutz, 1995. - V,101 S. S. - Текст : непосредственный.Chung-I C. Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch lonenimplantation : сборник научных трудов / C. Chung-I, 1995. - 254 S. - Текст : непосредственный.Gruber C. Numerische Simulation von Gyrotronkanonen mit BFCPIC und BFCRAY : сборник научных трудов / C. Gruber, 1995. - II,69 S. S. - Текст : непосредственный.Reimann J. Report of working group MHD for the Blanket Concept Selection Exercise (BCSE) / J. Reimann, G. Benamati, R. Moreau, 1995. - 48 p. - Текст : непосредственный.Bethge K. Gerate zum Auffinden und Bewerten von holzzersetzender Faule in Baumen / K. Bethge, C. Mattheck, E. Hunger, 1995. - 36 S. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Elzer M. Die Vieldraht-Proportionalkammern von KASCADE bei Luftschauern mit hoher Teilchendichte / M. Elzer, 1996. - 60 S. - Текст : непосредственный.Kuntz M. Bestimmung der Hohenverteilung stratospharischer Spurengase aus Emissionsspektren eines bodengebundenen Millimeterwellen-Radiometers / M. Kuntz, 1996. - IX,135 S. S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыВиноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный.Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный.Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный.Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный.Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-lineПак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный.Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный.Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный.Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыПолтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный.Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный.Семенов Ю.Г. Контроль качества / Ю. Г. Семенов, 1990. - 111 c. - Текст : непосредственный.Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный.Кормилицын О.П. Механика материалов и структур нано- и микротехники : учебное пособие / О. П. Кормилицын, Ю. А. Шукейло, 2008. - 216 с. - Текст : непосредственный.Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный.Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный.Ермаков А.В. Исследование механизмов создания наноструктур на поверхности твердого тела с помощью сканирующего туннельного микроскопа и микроскопа атомных сил : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. В. Ермаков, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный.Моряков О.С. Элионная обработка / О. С. Моряков, 1989. - 128 c. - Текст : непосредственный.Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный.Субмикронные технологии : сборник научных трудов / Ред. В. Н. Репин, 1995. - 79 c. - Текст : непосредственный.Проблемы субмикронной технологии : сборник / Ред. А. А. Орликовский, 1993. - 113 с. - Текст : непосредственный.Новые магнитные материалы микроэлектроники, 2000. - 889 с. - Текст : непосредственный.Исследование технологических процессов и приборов микроэлектроники : сборник научных трудов / Ред. В. А. Курчидис, 1997. - 168 с. - Текст : непосредственный.Растова Н.А. Энергетический спектр электронов в двумерных ковалентных структурах с локальными дефектами на поверхности / Н. А. Растова, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : сборник научных трудов / Zusgest. K.-H. Zum Gahr, 2001. - 144 S. - Текст : непосредственный.Мазуренко С.Н. Синхронное излучение в технологических процессах микроэлектроники / С. Н. Мазуренко, В. В. Мануйлов, В. М. Матвеев, 1994. - 75 c. - Текст : непосредственный.Micro system technologies 90 : сборник / Ed. H. Reichl, 1990. - XV,858 p. p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽