• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Технология материалов микро- и наноэлектроники / Л. В. Кожитов, С. Г. Емельянов, В. Г. Косушкин [и др.] ; Юго-Западный гос. ун-т (Курск). - 2-е изд., перераб. и испр. - Курск : Юго-Зап. гос. ун-т, 2012. - 861 с. - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр. в конце глав. - 2000 экз. - ISBN 978-5-7681-0760-4. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09621.3.049.76-03
    621.384-022.532-03

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Материалы
    Наноэлектронные устройства -- Материалы

    Аннотация: Приведены теоретические основы и математические модели процессов выращивания монокристаллов полупроводников из расплава. Рассмотрены основы эпитаксиального роста плёнок полупроводников и оборудование для их производства, а также процессы плазмохимических технологий и высокоэнергетичных воздействий получения материалов для электроники. Изложены основные методы получения современных нанокомпозитных материалов на основе углерода, проанализированы основные модели процессов, определены перспективы развития технологий.
    Доп. точки доступа:
    Кожитов, Л.В.
    Емельянов, С.Г.
    Косушкин, В.Г.
    Стрельченко, С.С.
    Пархоменко, Ю.Н.
    Юго-Западный гос. ун-т (Курск)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-12/96703)

    Шифр в сводном ЭК: bae3b1c62bc4da809661d85a36a52166



    Заказ фрагмента документа ₽