• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Захарова, И. Б. Физические основы микро- и нанотехнологий : выставочные материалы / И. Б. Захарова. - СПб. : Политехн. ун-т, 2010. - 200 с. - (Приоритетный национальный проект "Образование". Национальный исследовательский университет). - Библиогр.: с. 190. - 40 экз. - ISBN 978-5-7422-3148-6. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76-047.84
    81.13.30620.3

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Нанотехнологии

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-10/80702)

    Шифр в сводном ЭК: 05201b46630e2ea450ee8317ccfb1884



    Заказ фрагмента документа ₽