Полное описание
Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.]. - Москва : [б. и.], 1989. - 66 с. : ил. - (Химическая промышленность. Серия "Элементоорганические соединения и их применение" : обзорная информация / НИИТЭхим). - Библиогр.: с. 61-65 (116 назв.). - 481 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.382-047.84
Рубрики: Полупроводниковые приборы -- Производство -- Вспомогательные материалы
Кл.слова (ненормированные): ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ СССР -- ВСПОМОГАТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ПРОИЗВОДСТВО
Доп. точки доступа: Белов, Е.П.
Лебедев, Е.Н.
Григораш, Ю.П.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-89/72099)
Шифр в сводном ЭК: 2228ac66f7e93f4abb762d215175ce62
Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Безлепкин Д.Н. Стибин: свойства, получение, анализ, очистка / Д. Н. Безлепкин, Е. Н. Лебедев, А. И. Горбунов, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный. Высокочистые легколетучие гидриды элементов III-VI групп Периодической системы Д.И.Менделеева. Достижения в области получения и применения : Обзор / Н.Н.Корнеев,Е.Н.Лебедев,Е.П.Белов и др., 2002. - 41 с. - Текст : непосредственный. Лебедев Е.Н. Механизм управления инновационным портфелем предприятия оборонно-промышленного комплекса России : автореф. дис. .. канд. экон. наук: 08.00.05 / Е. Н. Лебедев, 2006. - 29 с. - Текст : непосредственный. Станнан: свойства, получение, анализ, очистка / Д. Н. Безлепкин, Р. П. Ростунова, Е. Н. Лебедев, А. И. Горбунов, 1989. - 38 с. - Текст : непосредственный. Мосягин Г.М. Теория оптико-электронных систем : Учеб. для втузов / Г. М. Мосягин, В. Б. Немтинов, Е. Н. Лебедев, 1990. - 431 с. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Синтез и свойства палладиевых катализаторов для производства пероксида водорода антрахинонным методом / Ю. А. Лелюхина, Т. М. Измайлова, С. М. Варданян [и др.], 1989. - 37 с. - Текст : непосредственный. Получение нитрида кремния / Г. И. Орлов, С. В. Виноградов, Н. В. Миронова, Е. А. Чернышев, 1989. - 44 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Методы и технологии получения графенов и квантоворазмерных структур : материалы временных коллективов / Астраханский гос. ун-т, 2010. - 75 с. - Текст : непосредственный. Брук В.А. Производство полупроводниковых приборов, 1973. - 364 с. - Текст : непосредственный. Номоконова Н.Н. Система контроля и анализа технических свойств интегральных элементов и устройств вычислительной техники по многоуровневой модели информативных параметров : специальность 05.13.05 "Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Н. Н. Номоконова, 2010. - 40 с. - Текст : непосредственный. Мазель Е.З. Планарная технология кремниевых приборов, 1974. - 384 с. - Текст : непосредственный. Кравченко А.А. Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках / А. А. Кравченко, 2012. - 25 с. - Текст : непосредственный. Минскер Ф.Е. Сборка полупроводниковых приборов : выставочные материалы / Ф. Е. Минскер, А. Ю. Бер, 1974. - 127 с. - Текст : непосредственный. Лозовский В.С. Моделирование эволюции межфазных границ при термомиграции жидкой зоны в кристалле методом точечных источников / В. С. Лозовский, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Papers selected from the 5th International SiGe technology and devices meeting, Stockholm, Sweden on May 24th-26th 2010 / Ed. M. Östling, 2011. - 138 p. - Текст : непосредственный. Solid state science and technology XXVI : sel., peer rev. papers from the 26th Reg. conf. on solid state science and technology, Nov. 22-24, 2011, Seremban, Negeri Sembilan, Malaysia / Reg. conf. on solid state science and technology (26; 2011; Seremban), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. El-Kareh B. Silicon devices and process integration : deep submicron and nano-scale technologies / B. El-Kareh, 2009 r=on-line. - Текст : электронный. Курносов А.И. Технология производства полупроводниковых приборов : учеб. пособие / А. И. Курносов, В. В. Юдин, 1974. - 400 с. - Текст : непосредственный. Гусев Е.Ю. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Е. Ю. Гусев, 2009. - 20 с. - Текст : непосредственный. Мокроусов Г.М. Межфазные превращения и формирование поверхности многокомпонентных полупроводников с жидких средах : учеб. пособие / Г. М. Мокроусов, О. Н. Зарубина, Т. П. Березкина, 2015. - 107 с. - Текст : непосредственный. Хлызов В.А. Разработка системы управления и автоматизация технологического процесса лазерного управляемого термораскалывания на промышленных установках : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.14 / В. А. Хлызов, 2012. - 19 с. - Текст : непосредственный. Казаков В.Д. Материалы нано- и оптоэлектроники в полупроводниковых и оптических системах : учеб. пособие / В. Д. Казаков, 2016. - 127 с. - Текст : непосредственный. Badih El-Kareh.Silicon Analog Components. Device Design, Process Integration, Characterization, and Reliability / Badih El-Kareh, L. N. Hutter, 2015 r=on-line. - Текст : электронный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
