Полное описание

American vacuum society (New York). International symposium (49th ; 2002 ; Denver(Co)). Preliminary program : материалы временных коллективов / American vacuum society (New York). - New York, NY : AVS, 2002. - A122, 1511-1834 p. 1511-1834 p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology A: Vacuum, surfaces, and films, ISSN 0734-2101 ; 2002, Vol.20, N 5) ; 2002. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце ст. Указ.:с.1831-1834

ГРНТИ	УДК
81.29	621.52(063)
29.03.29	533.5(063)
	539.23(063)

Рубрики:
Вакуумная техника -- Съезды и конференции
Вакуум -- Съезды и конференции
Пленки -- Производство -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМ -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ПЛЕНКА -- ВАКУУМ -- ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ПЛЕНКА
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8874/2002, Vol.20, N 5/2002)

Шифр в сводном ЭК: 36cf2286390677bad9c61d7e6208f1b8