• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Соловьев, В. В. Разработка технологического процесса получения тонкопленочных покрытий диоксида циркония термолизом алксоединений : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / В. В. Соловьев. - Минск, 1994. - 19 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.:Белорус.гос.ун-т информатики и радиоэлектроники.Библиогр.:с.14-16 (19 назв.)

    ГРНТИ УДК
    55.22.23620.197.6:666.76(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0448)

    Шифр в сводном ЭК: 6bb18c398ba30c055ab6cb23dc179e7b



    Заказ фрагмента документа ₽