• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Самсоненко, Б. Н. Электрохимические процессы обработки поверхности полупроводника и формирования в технологии полевых транзисторов Шоттки на арсениде галлия : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Б. Н. Самсоненко. - М., 1994. - 28 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т). Библиогр.:с.25-28 (33 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382.323.002(043)
    47.13.11

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0432)

    Шифр в сводном ЭК: c52969b5bcee54183181afa1c3eabc9d



    Заказ фрагмента документа ₽