• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Андреев, А. Ю. Моделирование концентрационных профилей компонентов в низкоразмерных гетероструктурах InGaAs/(Al)GaAs, формируемых методом МОС-гидридной эпитаксии : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / А. Ю. Андреев. - М., 2004. - 23 с. - Библиогр.: с. 22-23. - 100 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.315.592.9.002(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар05-662)

    Шифр в сводном ЭК: c8760631ec0c30552ab929f868df480c



    Заказ фрагмента документа ₽