Приложение
для AndroidПолное описание
Кривошеева, А. Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин. - СПб. : СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2012. - 118 с. : ил. - Библиогр.: с. 118 (16 назв.). - 35 экз. - ISBN 978-5-7629-1199-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ".
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.33 | 621.315.592:621.794 |
Рубрики:
Полупроводники -- Травление
Доп. точки доступа:
Лучинин, В.В.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-12/4747)
Шифр в сводном ЭК: 6d8f0d7515a18ec42f9813c59c922281
Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Лучинин В. В. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / В. В. Лучинин, А. В. Афанасьев, В. П. Афанасьева, Г. Ф. Глинский [и др.] ; Ред. В. В. Лучинин, 2006. - 551 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный.Информационные технологии. - Журнал, 1997г. № 5. - Текст : непосредственный.Изумрудов О.А. Практикум по твердотельной электронике и микросхемотехнике / О. А. Изумрудов, Н. П. Лазарева, В. В. Лучинин, 1995. - 77 с. - Текст : непосредственный.Ильин В.А. Сертификация и стандартизация в производстве полупроводниковых материалов и приборов : Учеб.пособие / В.А.Ильин,В.В.Лучинин, 1995. - 63 с. - Текст : непосредственный.Атомно-молекулярная технология и диагностика : Учеб.пособие / В.В.Лучинин,А.Н.Дунаев,А.З.Казак-Казакевич и др., 1998. - 56 с. - Текст : непосредственный.Карасев В.А. Введение в конструирование бионических наносистем / В. А. Карасев, В. В. Лучинин, 2011. - 463 с. - Текст : непосредственный.Ильин В.А. Сборник вопросов и задач по методам исследования материалов и компонентов электронной техники / В.А.Ильин,В.В.Лучинин, 1991. - 47 с. - Текст : непосредственный.Информационные технологии. - Журнал, 1999г. № 7. - Текст : непосредственный.Лучинин В.В. Основы топологического анализа кристаллов интегральных схем : учеб. пособие / В. В. Лучинин, А. О. Гасников, В. В. Трушлякова, 2012. - 64 с. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / А. Н. Кривошеева, 2007. - 16 с. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Базовые процессы планарной технологии : учебное пособие / И. И. Зятьков, А. Н. Кривошеева, 2018. - 62 с. - Текст : непосредственный.Лучинин В.В. Структуро- и формообарзование микро- и наносистем на основе широкозонных материалов,обладающих полиморфизмом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.10 / В. В. Лучинин, 1999. - 32 с. - Текст : непосредственный.Карасев В.А. Введение в конструирование бионических наносистем / В. А. Карасев, В. В. Лучинин, 2009. - 463 с. - Текст : непосредственный.Алексеев Н.И. Электроника алмаза : учебное пособие / Н. И. Алексеев, В. В. Лучинин, 2019. - 63, [1] с. - Текст : непосредственный.Алексеев Н.И. Электроника алмаза / Н. И. Алексеев, В. В. Лучинин, 2019. - 143 с. - Текст : непосредственный.
Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный.Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный.Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный.Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный.Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный.Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный.Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный.Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный.Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный.Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный.Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный.Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный.Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный.Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный.Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный.Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный.Nojiri K. Dry Etching Technology for Semiconductors / K. Nojiri, 2015 r=on-line. - Текст : электронный.Высокоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А. В. Водопьянов [и др.], 2010. - 12 с. - Текст : непосредственный.Матасов М.Д. Влияние спектрального состава света и фазового состава полупроводниковой мишени на вторично-ионный фотоэффект : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / М. Д. Матасов, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный.Можаев А.В. Динамическая модель процессов формирования трехмерных кластеров в кремнии : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / А. В. Можаев, 2010. - 17 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Е.Н. Механизм образования пор в Si n- и p-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты : 02.00.04 - Физическая химия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук / Е. Н. Абрамова, 2019. - 37 с. - Текст : непосредственный.Капинос С.П. Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : автореф. дис. .. канд. хим. наук: 02.00.04 / С. П. Капинос, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный.Голованов, Антон Владимирович. Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления : специальность 01.04.07 - Физика конденсированного состояния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Голованов Антон Владимирович, 2021. - 23 с. - Текст : непосредственный.Побережная, Ульяна Максимовна. Свойства воспламенительных составов на основе пористого кремния : 2.6.12. Xимическая технология топлива и высокоэнергетических веществ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Побережная Ульяна Максимовна, 2025. - 21 с. - Текст : непосредственный.