Полное описание
Журнал
Microelectronic Engineering : [ Электронный ресурс] . - Amsterdam : Elsevier Science Publ., 1983 - ((+31) 5862 911). - Выходит ежемесячно. - ISSN 0167-9317.
ГРНТИ УДК
47.33.37 621.3.049.76
47.09.48
РУБ
09
Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- наноэлектроника
journal link