Полное описание

Zhan, Q. Imaging ellipsometry high-spatial-resolution metrology / Q.Zhan,R.Leger. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 2002. - 12 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 2002/52). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c.[11]-[12]

ГРНТИ	УДК
90.27.37	681.785.35

Рубрики:
Эллипсометрия

Доп. точки доступа:
Leger, R.
University of Minnesota (Minneapolis, Mn). Supercomputer institute

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/2002/52)

Шифр в сводном ЭК: ffe4297324df18a6175b3c8145c9d81d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа