Полное описание

Белаш, А. О. Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.06 / А. О. Белаш. - 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (4 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
29.31.26	681.785.574(043)
47.13.81	621.315.592:658.562(043)

Кл.слова (ненормированные): ИЗМЕРЕНИЕ -- ПАРАМЕТРЫ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ -- ФУРЬЕ СПЕКТРОМЕТРЫ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар12-13690)

Шифр в сводном ЭК: fe60cc82df3b7ac9d5aa0a3ba6be888b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽