Полное описание

Багнюков, К. Н. Активация адсорбционных процессов на поверхности SNO2 методами легирования Ag и Pd и воздействием оптического излучения : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.27.01 / К. Н. Багнюков. - 2013. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16 (17 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.35.29	543.27.08(043)

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ ГАЗОВ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРНЫЕ ПЛЕНКИ
Аннотация: Разработка методов улучшения метрологических характеристик датчиков газов за счет легирования сенсорных слоев и их оптического облучения.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-681)

Шифр в сводном ЭК: fd28d807919f9c071ba0c8bfe659287b

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽