Полное описание

Пашков, В. Ю. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / В. Ю. Пашков. - М., 1996. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 24-25(10 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.771.14.002.5(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР96-3438)

Шифр в сводном ЭК: fcd85631d7c993ae81093ed2adf76b1e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽