Полное описание

Коломийцев, А. С. Исследование режимов субмикронного профилирования подложек кремния методом фокусированных ионных пучков для формирования элементов микро- и наносистемной техники / А. С. Коломийцев. - Текст : непосредственный // Наноинженерия - 2010. - М. : Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. - С. 186-189. - Библиогр.: 2 назв.
ГРНТИ 47.03.05

Кл.слова (ненормированные): галлий
Аннотация: Экспериментальные исследования режимов субмикронного профилирования кремниевой подложки фокусированным ионным пучком галлия.

Имеются экземпляры в отделах: всего -20101223 : ПНТ (-20101223)
Свободны: ПНТ (1)
Заказаны экз-ры для отделов: фо24

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -956134-620312)

Шифр в сводном ЭК: fb71be51a4f68e147c532df65a01cc97

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽