Полное описание

Multichamber and in-situ processing of electronic materials : proc.of the meet.,10-11 Oct.1989,Santa Clara(Ca) / Ed. R. S. Freund. - Bellingham(Wa) : [s. n.], 1990. - VI,196 p. p. : ill. - (Proceedings / Soc.of photo-optical instrumentation engineers ; vol.1188). - ISBN 0-8194-0224-9. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ,:с.196

ГРНТИ	УДК
47.09	621.38.002.3(063)

Рубрики:
Электронные материалы -- Обработка -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОННЫЙ МАТЕРИАЛ
Доп. точки доступа:
Freund, R.S.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/7309/1188)

Шифр в сводном ЭК: f9067a5c898eb52521ff69049b566ac7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽