Полное описание

Лукичев, В. Ф. Теоретическое исследование глубокого анизотропного травления кремниевых структур в низкотемпературной плазме : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / В. Ф. Лукичев. - М., 1997. - 25 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 22-25

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.79(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР98-1390)

Шифр в сводном ЭК: f79040c41c24ff767c50901cace87a13

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽