Полное описание

Груздов, В. В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / Груздов В. В. - Москва : Техносфера, 2017. - 96 с. - URL: https://www.iprbookshop.ru/84681.html (дата обращения: 11.04.2023) . - Режим доступа: ЭБС IPR SMART. - ISBN 978-5-94836-471-1. - Текст : электронный.
Книга находится в Премиум-версии IPR SMART.

	УДК
	621.37

	ББК
	32

Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- СВЧ -- СВЧ ЭЛЕКТРОНИКА -- ЭЛЕКТРОНИКА
Аннотация: Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
Доп. точки доступа:
Колковский, Ю. В.
Концевой, Ю. А.

Перейти к просмотру издания

Держатели документа:
Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : 143405, Московская область, г. Красногорск, ш. Ильинское, д. 1А, помещ. 17,6/ком. 5 (Шифр в БД-источнике (IPRBOOKS): 84681)

Шифр в сводном ЭК: f571d9ed16ab2a3553472f1bf479ce54

Просмотр издания ЭБС IPR SMART