Полное описание

The SEM metrology of the microrelief elements / Yu.A.Novikov,A.V.Rakov,I.Yu.Stekolin,I.B.Strizhkov. - Moscow : [s. n.], 1995. - 12 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 18(1995)). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.31	621.3.049.76:658.562(04)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Технический контроль

Кл.слова (ненормированные): БОЛЬШАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
Доп. точки доступа:
Novikov, Yu.A.
Rakov, A.V.
Stekolin, I.Yu.
Strizhkov, I.B.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/42285/18(1995))

Шифр в сводном ЭК: f44f75ac9e60d95a9f062175a057f1fe

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽